精密陶瓷部件主要指应用于半导体设备中的高精密复杂结构陶瓷件。作为半导体设备的关键组成部分，其研发与生产水平直接影响到半导体产业的发展。精密陶瓷的制备质量决定了下游高端器件的性能与稳定性，而排胶、预烧、烧结等热工工艺正是制备过程中的核心环节，对热工装备的温场均匀性、工艺适配性以及批量化生产能力提出了极高要求。

排胶与烧结：精密陶瓷制备的核心工艺

在精密陶瓷的制备流程中，排胶与烧结是两大关键工序，其工艺控制精度不仅直接影响陶瓷部件的最终品质，也对配套热工装备的技术性能形成严格考验。

排胶：为陶瓷成型奠定基础

排胶过程是陶瓷材料制备工艺中的关键步骤，其主要作用是通过物理或化学手段去除坯体中残留的有机物（如粘结剂、成孔剂等），同时为后续烧结阶段创造适宜的孔隙结构基础。在陶瓷成型过程中，有机物通常作为成形辅助剂被引入，但若残留于最终产品中会导致气孔率异常、力学性能下降等缺陷。因此，排胶过程需要精确控制温度、时间及环境参数，以确保有机物充分分解或挥发，同时避免坯体结构发生不可逆损伤，这就要求配套排胶设备具备极高的温场均匀性和工艺参数可控性。

烧结：实现陶瓷致密化的关键环节

烧结是指成型后的坯体在高温作用下通过坯体间颗粒相互粘结和物质传递，气孔排除，体积收缩，强度提高逐渐变成具有一定的几何形状和坚固烧结体的致密化过程。在宏观和微观上对烧结现象进行观察，可以看到宏观上，烧结后的产物体积收缩，致密度提高，强度增加。微观上，气孔形状改变，晶体长大，成分变化（掺杂元素）。目前我国精密陶瓷行业主要采用热压烧结(HP) 和气压烧结(GPS) 技术，且在大尺寸气压烧结氮化硅陶瓷领域已突破国外技术封锁，实现了核心技术的国产化。

费舍罗热工装备：高端电炉装备的科创引领者

面对精密陶瓷制备的高标准工艺需求及半导体产业国产化趋势，合肥费舍罗热工装备有限公司依托深厚的技术积累与本土化创新能力，成为该领域重要的热工装备解决方案提供商。

公司是国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业，长期专注于先进电炉装备的研发、设计、生产与销售。在引进国外先进技术的基础上，费舍罗结合国内半导体、精密陶瓷等行业实际进行创新，致力于为科研与工业领域提供专业的电炉设备及全流程技术服务。

凭借扎实的研发实力，费舍罗构建了丰富多元的产品体系，涵盖实验炉、管式炉、箱式炉等基础炉型，并推出MLCC排胶炉、HTCC气氛排胶炉、半导体陶瓷排胶烧结一体炉、高纯石英退火炉等高端定制化产品，同时支持根据客户工艺需求进行非标定制。其产品广泛应用于半导体陶瓷、电子陶瓷、功能陶瓷等领域，以高适配性、高稳定性与高良品率成为行业优选品牌。

针对精密陶瓷制备从低温排胶到高温烧结的全流程工艺需求，费舍罗打造了排胶预烧一体炉、高精密排胶炉、排胶烧结一体钟罩炉等核心产品，精准解决行业设备痛点，支撑精密陶瓷的批量化生产。

▶排胶预烧一体炉：工艺一体化，贯穿研发与生产

排胶预烧一体炉专为各类成型方式的精密陶瓷排胶、预烧和烧成工艺设计，是费舍罗针对精密陶瓷制备工序拆分痛点打造的核心产品。

该产品搭载热风循环和辐射组合式控温技术，可同时兼容低温排胶和高温预烧的温度均匀性要求，实现排胶-预烧-烧成一体化工艺，有效减少工序衔接中的产品损耗，提升生产效率。产品提供多种炉膛尺寸选择，从实验室小批量研发到工业化大批量生产，均可实现设备的一致性与匹配性，满足企业从研发到量产的全阶段需求。

目前，该产品在市场中拥有较高占有率，广泛应用于半导体陶瓷、氮化铝基板、氮化硅基板、氮氧传感器、氧化锆、氧化铝等精密陶瓷器件的排胶工序批量化生产，成为精密陶瓷制备中实现工艺一体化的核心装备。

▶高精密排胶炉：精准控温，定义低温排胶品质标准

低温排胶是精密陶瓷制备的基础工序，温场均匀性直接决定坯体的后续成型质量，费舍罗高精密排胶炉正是针对这一核心需求研发的专用设备。产品主要适配氮化硅、氧化铝、氧化锆、MLCC、HTCC等精密器件的低温排胶工艺，也可满足其他功能陶瓷、电子陶瓷的低温排胶需求，提供空气排胶款和气氛排胶款双选择，适配不同陶瓷材料的工艺环境要求。

该产品最高温度可达620℃，工作温度覆盖RT-580℃，依托热风循环设计原理实现低温对流控温，大幅提升温场均匀性。凭借高市场占有率、高良品率的核心优势，该产品成为国内对温度均匀性有高要求的精密陶瓷企业的首选设备，为低温排胶工艺筑牢品质基础。

▶排胶烧结一体钟罩炉：高温高效，推动氧化物陶瓷量产

针对高精密氧化物陶瓷的烧结需求，费舍罗打造了排胶烧结一体钟罩炉，可适配多种成型方式陶瓷产品的排胶烧结一体工艺，也可满足单独间歇式批量烧结工艺需求。

产品最高工作温度可达1700℃，精准匹配高精密氧化物陶瓷的高温烧结要求，实现排胶与烧结的一体化操作，不仅大幅节约生产能耗与时间成本，更能有效提升烧结良品率。同时，产品具备优异的温度均匀性，可有效提升同批次陶瓷产品的一致性，保障产品品质稳定。

该产品技术成熟、设备运行稳定，兼具高性价比，已广泛应用于氧化物陶瓷器件行业的批量化生产，成功实现进口设备的国产化替代。

部分合作客户

合肥费舍罗热工装备有限公司始终致力于为全球客户提供专业、可靠的热工装备解决方案。如您有产品咨询、工艺适配或定制化需求，欢迎随时与公司联系，费舍罗将竭诚为您提供技术支持与服务。

参考来源：

中国粉体网、无机非金属材料科学、合肥费舍罗热工装备有限公司